檢測范圍：

集成電路、集成電路金屬噴鍍等。

檢測項目：

電遷移檢測、電遷移故障時間檢測、電遷移失效時間檢測、電阻值變化檢測等。

依據(jù)檢測標準

JEDEC JESD61A-2007 等溫線的電遷移檢測程序

JEDEC JESD202-2006 在恒定電流和溫度壓力下互連的電遷移故障時間分配辨別方法

ASTM F1260M-96 估計集成電路金屬化電遷移失效時間中值和西格瑪?shù)臉藴试囼灧椒╗米制]

ASTM F1260M-1996(2003 集成電路金屬噴鍍總量和電遷移中值失效時間的評定標準試驗方法(米制單位)

ASTM F1259M-96 檢測金屬化開路或因電遷移引起的電阻增加故障的扁平直線試驗結構的設計標準指南[米制]

SJ/T 11499-2015 碳化硅單晶電學性能的檢測方法

檢測流程步驟

溫馨提示：以上內容僅供參考使用，更多檢測需求請咨詢客服。