微電子材料檢測項目標準及流程是什么？實驗室可依據(jù)GB/T 14849.4-2014工業(yè)硅化學分析方法 第4部分：雜質元素含量的測定 電感耦合等離子體原子發(fā)生光譜法檢測標準規(guī)范中的試驗方法，對微電子材料工業(yè)硅中雜質元素含量檢測等項目進行準確測試。
檢測對象
微電子材料
檢測項目
工業(yè)硅中雜質元素含量檢測
檢測標準
GB/T 14849.4-2014工業(yè)硅化學分析方法 第4部分：雜質元素含量的測定 電感耦合等離子體原子發(fā)生光譜法檢測
相關標準
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檢測流程步驟
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