材料表面的微觀幾何形貌特性在很大程度上影響著它的許多技術(shù)性能和使用功能,近年來(lái)隨著科技的發(fā)展,對(duì)各種材料表面精度也提出了越來(lái)越高得要求。
掃描電子顯微鏡是目前常見(jiàn)的用于表面形貌觀察的分析技術(shù)。具有高分辨率,較高的放大倍數(shù);景深效果好,視野大,成像富有立體感,可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu);試樣制備簡(jiǎn)單;配有X射線能譜儀裝置,可同時(shí)進(jìn)行形貌觀察和微區(qū)成分分析。
通過(guò)掃描電子顯微鏡觀察材料表面形貌,為研究樣品形態(tài)結(jié)構(gòu)提供了便利,有助于監(jiān)控產(chǎn)品質(zhì)量,改善工藝。
觀察的主要內(nèi)容是分析材料的幾何形貌、材料的顆粒度、及顆粒度的分布、物相的結(jié)構(gòu)等。
應(yīng)用范圍:
材料、電子、冶金、航空、汽車電子、醫(yī)學(xué)、機(jī)械加工、半導(dǎo)體制造、陶瓷品等。
檢測(cè)步驟:
對(duì)樣品進(jìn)行表面鍍鉑金,按照標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)流程放入掃描電子顯微鏡樣品室中,對(duì)客戶要求的檢測(cè)位置進(jìn)行放大觀察并測(cè)量。
參考標(biāo)準(zhǔn):
JYT 010-1996 分析型掃描電子顯微鏡方法通則
檢測(cè)流程步驟
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