光刻膠成分分析單位測試流程是什么?檢測項目及標(biāo)準(zhǔn)有哪些?檢測實驗室可根據(jù)GOST R 52250-2004 電子工程材料.光刻工藝抗蝕劑.通用規(guī)范等相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)制定試驗方案。對光刻膠成分分析的分辨率、對比度、敏感度等項目進行檢測分析。并出具嚴(yán)謹(jǐn)公正的檢測報告。
檢測項目:
成分分析、有效成分含量、雜質(zhì)、分辨率、對比度、敏感度、粘滯性黏度、粘附性、抗蝕性、表面張力。
適用范圍
負(fù)性光刻膠、正性光刻膠、光聚合型光刻膠、光分解型光刻膠、光交聯(lián)型光刻膠、含硅光刻膠光刻膠等。
相關(guān)檢測標(biāo)準(zhǔn)
GB/T 29844-2013 用于先進集成電路光刻工藝綜合評估的圖形規(guī)范
GOST R 52250-2004 電子工程材料.光刻工藝抗蝕劑.通用規(guī)范
AIR FORCE A-A-59404-1999 便攜式液壓油型光刻膠配量器
IPC MI-660 5.3-1984 干電影光刻膠
檢測流程步驟
溫馨提示:以上內(nèi)容僅供參考使用,更多檢測需求請咨詢客服。