化學機械拋光檢測范圍
鋁合金,薄膜,晶圓,半導體,陶瓷,硬脆材料,多晶硅,介質層,硅片,磷化銦,手機玻璃等。
檢測項目:化學機械拋光檢測
化學機械拋光檢測標準
SJ 21127-2016化學機械拋光機通用規(guī)范
GB/T 40110-2021表面化學分析 全反射X射線熒光光譜法測定硅片表面元素污染
T/IAWBS 012-2019碳化硅單晶拋光片表面質量和微管密度檢測方法 ——共焦點微分干涉光學法
檢測流程步驟
溫馨提示:以上內容僅供參考使用,更多檢測需求請咨詢客服。
鋁合金,薄膜,晶圓,半導體,陶瓷,硬脆材料,多晶硅,介質層,硅片,磷化銦,手機玻璃等。
檢測項目:化學機械拋光檢測
SJ 21127-2016化學機械拋光機通用規(guī)范
GB/T 40110-2021表面化學分析 全反射X射線熒光光譜法測定硅片表面元素污染
T/IAWBS 012-2019碳化硅單晶拋光片表面質量和微管密度檢測方法 ——共焦點微分干涉光學法
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