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光刻膠檢測報告測試項目及標準方法(精選)

檢測報告圖片樣例

檢測范圍

光刻膠

檢測項目

UV 比 3.75±0.10,金屬離子(Na、K、Ca、Mg、Fe、Mn、AI)總含有率≤200ppb,膜厚 Standard±50Å。

檢測流程步驟

檢測流程步驟

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