檢測范圍：

工業(yè)用硝化纖維素等。

檢測項目：

三氯氫硅含量、二氯二氫硅含量、四氯化硅含量、氣硅烷聚合物含量、（鋁、磷、鐵、鉻、銅、鋅）總量、（硼、鎵、銦）總量、總碳等。

依據(jù)檢測標準

GB/T 28654-2018 工業(yè)三氯氫硅

GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氫硅

GB/T 29056-2012 硅外延用三氯氫硅化學分析方法.硼、鋁、磷、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鉬、砷和銻量的測定 電感耦合等離子體質(zhì)譜法

YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氫硅中總碳的測定 氣相色譜法

YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氫硅中其他氯硅烷含量的測定 氣相色譜法

HG/T 4683-2014 三氯氫硅泄漏的處理處置方法

DB53/T 501-2013 多晶硅用三氯氫硅雜質(zhì)元素含量測定 電感耦合等離子體質(zhì)譜法

DB53/T 499-2013 多晶硅用三氯氫硅

DB53/T 500-2013 多晶硅用三氯氫硅組分含量測定 氣相色譜法

檢測流程步驟

溫馨提示：以上內(nèi)容僅供參考使用，更多檢測需求請咨詢客服。