檢測(cè)范圍：
光聚合型光刻膠、光分解型光刻膠、光交聯(lián)型光刻膠、含硅光刻膠光刻膠等。
檢測(cè)項(xiàng)目：
化學(xué)成分分析、配方分析、核磁分析、FTIR紅外分析、GC-MS分析、X熒光分析等。
依據(jù)檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)
ASTM F581-78(1991)e1 光刻膠加速老化的實(shí)施規(guī)程
IPC MI-660 5.3-1984 干電影光刻膠
GOST R 52250-2004 電子工程材料.光刻工藝抗蝕劑.通用規(guī)范
檢測(cè)流程步驟
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